半导体材料气体探测仪XP-703DIII
型式 | XP-703DIII |
検知対象ガス | 半导体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素) |
ガス采気方式 | 自动吸引式 |
検知原理 | 热线型半导体式 |
质量 | 约190g(电池、レザーケース含む) |
半导体材料ガスの微量なガス漏れを検知。半导体工场等毒性ガスを使用する现场でのガス漏泄検査に。水素関连设备の保安に。
用途
半导体工场等毒性ガスを使用する现场でのガス漏泄検査に。水素関连设备の保安に。
特长
*半导体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
*ガス浓度の変化により、警报音(断続音)のスピードが徐々に変化し高浓度になると连続音でお知らせするのでガス漏れ个所の特定が容易。
*1台でさまざまな半导体材料ガス(アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など)に対応。
*従来品より大幅に小型・軽量化を実现。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
*电池残量やポンプの状态など、机器の状态がわかりやすいLCD画面を搭载。
*アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭载し、作业中に警报がわかりやすい。
*保护等级IP22(JIS C 0920)相当※。 ※レザーケース装着时
仕様
型式 | XP-703DIII | ||||
検知対象ガス | 半导体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素) | ||||
ガス采気方式 | 自动吸引式 | ||||
検知原理 | 热线型半导体式 | ||||
| アルシン | ホスフィン | ジボラン | シラン | 水 素 |
検知可能 | 2.53×10-7 | 1.52×10-7 | 1.01×10-7 | 2.53×10-7 | 5.07×10-7 |
検知可能浓度 | 0.5 ppm | 0.3 ppm | 0.2 ppm | 0.5 ppm | 1.0 ppm |
応答时间 | 10秒以内(探知可能浓度の3倍の浓度のガスに対して、感度设定[4]) | ||||
表示方式 | 断続音及びアラームランプの点灭 | ||||
电源 | 単3形アルカリ乾电池2本 | ||||
连続使用时间※1 | 约12时间(単3形アルカリ乾电池)[常温・常湿において] | ||||
保护等级※2 | IP22相当 | ||||
使用温度范囲 | 0℃~+40℃ 85%RH以下(但し、结露なきこと) | ||||
外形寸法 | W38×H130×D32mm(突起物を除く) | ||||
质量 | 约190g(电池、レザーケース含む) | ||||
标准付属品 | レザーケース、ドレンフィルタ、交换用フィルタエレメント、アタッチメント、点検ガス、ハンドストラップ、単3形アルカリ乾电池2本 等 |