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上海岩濑国际贸易有限公司
主营：化学用品,清洗设备,点胶设备 - 13962600488
上海岩濑国际贸易有限公司
主营：化学用品,清洗设备,点胶设备
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半导体材料气体检测仪XPS-7II
型式 | XPS-7II |
検知対象ガス | 半导体材料ガス |
ガス采気方式 | 自动吸引式 |
検知原理 | 定电位电解式 |
质量 | 约1.3kg |
ガスに合わせてセンサユニットが交换でき、１台で様々な半导体材料ガスを検知可能。
用途
半导体工场等毒性ガスを使用する现场で、ガス漏泄検査や浓度测定に。
特长
*ガスに合わせてセンサユニットが交换でき、１台で様々な半导体材料ガスを検知可能。
*カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの时间とコストを削减。
*NF3検知対応。NF3検知に対応したポータブルタイプ吸引式ガス検知器としては世界较小サイズ。
*重さわずか1.3kgの小型・軽量タイプ。
*ガス浓度の変化により、警报音（断続音）のスピードが徐々に変化し高浓度になると连続音でお知らせするのでガス漏れ个所の特定が容易。
型式 | XPS-7II |
検知対象ガス | 半导体材料ガス |
ガス采気方式 | 自动吸引式 |
検知原理 | 定电位电解式 |
検知范囲 | 仕様による |
分解能※1 | フルスケールの100分の1または200分の1表示 |
指示精度※2 | FS±10％以内 |
警报方式 | ブザー（断続音）、アラームランプ点灭 |
応答时间 | 60秒以内（60％応答） |
使用温度范囲 | 0℃～+40℃ |
电源 | 単3形アルカリ乾电池4本、またはAC専用アダプタ（オプション） |
连続使用时间※3 | アルカリ乾电池使用时：12时间以上※4（无警报时、20℃の场合） |
外形寸法 | W62×H150×D128mm（突起部を除く） |
重量 | 约1.3kg |
标准付属品 | ショルダーベルト、単3形アルカリ乾电池4本、フィルタエレメント2枚 |
オプション※5 | AC専用アダプタ（AC100V～240V/DC6V）、センサ専用通电台、ログデータ収集キット |
※1 ガス种によってフルスケールが异なります。
※2 同一测定条件による。
※3 环境条件、使用条件、保存期间、电池メーカーなどにより异なる场合があります。
※4 NF3センサユニット搭载时は8时间以上となります。
※5 AC専用アダプタ、ログデータ収集キットセンサ専用通电台はCE対象外になります。